超純水設(shè)備中一種不斷提升并保持氮封水箱合格電阻率要求的工藝專利
【純水設(shè)備http://m.creativeimagessc.com】隨著工業(yè)進(jìn)步工業(yè)各行業(yè)對(duì)超純水的需要越來(lái)越多，空氣中含有二氧化碳、塵埃等雜質(zhì)，而超純水為純的溶劑，對(duì)這些雜質(zhì)的溶解能力很強(qiáng)，故一旦超純水與空氣接觸，就會(huì)使其電阻率迅速下降，實(shí)踐證明15MΩ.cm以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質(zhì)就會(huì)下降至3-4MΩ.cm，3分鐘以后就會(huì)下降到2MΩ.cm左右，因此超純水的儲(chǔ)存容器需確保水體與空氣不要接觸。
目前普遍使用充氮法：即在水箱水面上充入氮?dú)馐瓜鋬?nèi)維持適當(dāng)?shù)恼龎毫?，阻止大氣與箱內(nèi)水面接觸。純水設(shè)備超純水氮封水箱是將一定量的氮?dú)獬淙朊芊獾乃鋬?nèi)，水箱內(nèi)氮?dú)鈮毫Σ淮笥?span>80Kpa，氮?dú)馐嵌栊詺怏w能防止CO2等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì)，保證水箱內(nèi)的水不受二次污染而導(dǎo)致水質(zhì)下降。
氮封裝置由快速泄放閥及微壓調(diào)節(jié)閥兩大部分組成，而快速泄放閥由壓力控制器及單座切斷閥組成，當(dāng)純水設(shè)備儲(chǔ)罐內(nèi)壓力升高至設(shè)定壓力時(shí)，快速泄放閥迅速開啟，將罐內(nèi)多余壓力泄放。微壓調(diào)節(jié)閥是在儲(chǔ)罐內(nèi)壓力降低時(shí)，開啟閥門，向罐內(nèi)充注氮?dú)狻Ｒ蛭赫{(diào)節(jié)閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下，現(xiàn)場(chǎng)N2壓力較高，必須安裝壓力調(diào)節(jié)閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。壓力可按要求分段設(shè)定，從0.5Kpa至60 Kpa以下。
氮封裝置在一定程度上防止水質(zhì)衰減，但水質(zhì)長(zhǎng)時(shí)間不用水質(zhì)仍然會(huì)有衰減，這樣就會(huì)造成超純水車間輸送的拋光混床樹脂消耗較快。本裝置即使氮?dú)夥馑渌疂M，EDI也不會(huì)停止工作，而是當(dāng)水箱水滿時(shí)，由EDI裝置繼續(xù)不斷的循環(huán)提升氮封水箱超純水，補(bǔ)充水箱水質(zhì)的衰減并不斷的提高氮封水箱水質(zhì)。
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